一、課程說明(Course Description)
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<br>本課程介紹微系統設計製造及檢測之相關原理及技術，
<br>包括微尺度及奈米尺度之物理現象，微尺度及奈米尺度之材料及薄膜特性，微影技術，微機電製程技術，奈米技術，微系統封裝及檢測技術，微系統及分子動力學模擬，以及三個重要的應用領域:光學微機電系統、生醫微機電/奈微熱流系統、和射頻微機電系統等。
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<br> 二、指定用書(Text Books)
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<br>1. 微系統工程原理課程講義,  饒達仁, Fall, 2007.
<br>(available on the web, http://djao.pme.nthu.edu.tw/ESS4800)
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<br> 三、參考書籍(References)
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<br>1."Fundamnetals of Microfabrication", Marc Madou, 2nd edition, CRC press, 2001.
<br>2."微機電系統與微系統設計與製造", 作者: 徐泰然, 翻譯: 朱銘祥, 普林斯頓國際有限公司, 2003.
<br>3."MEMS and NEMS, systems, devices, and structures", Sergey E. Lyshevski, CRC press, 2002
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<br> 四、教學方式(Teaching Method)
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<br>課堂演講, 隨堂小考, 論文專題研究, 實驗室參觀(視時間而定). 
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<br> 五、教學進度(Syllabus)
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<br>1.微機電系統科技簡介	
<br>2.奈微尺度之物理現象	
<br>3.矽半導體基本製程	
<br>4.晶圓清洗與潔淨室設施(小考)	
<br>5.黃光微影製程技術	
<br>6.氧化及薄膜製程	
<br>7.體型微加工技術(小考)	
<br>8.面型微加工技術	
<br>期中考              
<br>9.其它非矽製程技術	
<br>10.高分子/塑膠加工製程技術	
<br>11.微系統封裝及可靠度	
<br>12.光學微機電系統之應用	
<br>13.射頻微機電系統之應用(小考)
<br>14.生醫微機電系統-微生醫分析檢測系統	
<br>期末考              
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<br> 六、成績考核(Evaluation)
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<br>Quiz 15%, Homework 30% (no late), Midterm 25%, Final 30%
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<br> 七、可連結之網頁位址
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<br>http://djao.pme.nthu.edu.tw/ESS4800
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