一、課程說明(Course Description)
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<br>本課程旨於介紹奈微米系統科技之基本原理、微尺度及奈米尺度之物理現象、相關奈微系統製造方式，三個重要的微系統應用領域:光學微機電系統、生醫微機電/奈微熱流系統、和射頻微機電系統，以及奈米科技於先進光電、生醫、能源系統上之跨領域應用與未來趨勢。
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<br> 二、指定用書(Text Books)
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<br>1.奈微米系統工程原理課程講義, 曾繁根、饒達仁、王本誠，Fall, 2008.
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<br> 三、參考書籍(References)
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<br>1. Fundamentals of Microfabrication, Marc Madou, CRC Press, 1997. 
<br>2. Micromachined Transducers Sourcebook, Gregory T. A. Kovacs, McGraw-Hill, New York, 1998.
<br>3. K. Eric Drexler, “Nanosystems”, John Wiley & Sons, Inc., New York, USA, 1992.
<br>4. Gregory Timp edited, “Nanotechnology”, Springer-Verlag, New York, USA, 1999.
<br>5."MEMS and NEMS, systems, devices, and structures", Sergey E. Lyshevski, CRC press, 2002
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<br> 四、教學方式(Teaching Method)
<br>課程講授,報告，實驗室參觀
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<br> 五、教學進度(Syllabus)
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<br>課程大綱:
<br>Part I 微系統科技 (饒達仁教授)
<br>1.微機電系統科技簡介 (9/17)
<br>2.尺度分析 (9/24)
<br>3.光學微機電系統之應用(10/1)
<br>4.射頻微機電系統之應用(10/8)
<br>5.生醫微機電系統-微生醫分析檢測系統(10/15)
<br>6.期中考I (10/22)
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<br>Part II 奈米系統科技(曾繁根教授)
<br>1.奈米等級製程及檢測技術 (10/29)	
<br>2.奈米電子系統簡介  (11/5)	
<br>3.奈米光電及磁系統簡介  (11/12)
<br>4.奈米能源及機電系統簡介  (11/19)
<br>5. 期中考II (11/26)
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<br>Part III 先進奈米材料科技 (王本誠教授)
<br>1. 奈米材料科技簡介  (12/3)
<br>2. 分子自組裝及介面技術之基本原理  (12/10)
<br>3. 由奈米等級向上建造之新型奈米系統  (12/17)
<br>4. 奈米生醫系統簡介Bio-Nanotechnology  (12/24)
<br>5. 奈米材料在光電、生醫、能源等先進系統之應用  (12/31)
<br>6. 期末考 (1/7)                                        
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<br> 六、成績考核(Evaluation)
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<br>作業30%, 平時成績10%, 期中考40%, 期末考20%.
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<br> 七、可連結之網頁位址
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<br>http://djao.pme.nthu.edu.tw/ESS4800
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