一、課程說明(Course Description)
<br>本課程介紹微系統設計製造及檢測之相關原理及技術，包括微尺度及奈米尺度之物理現象，微機電與奈米製程技術，微系統構裝及檢測技術，微系統三個重要的應用領域:光學微機電系統、生醫微機電/奈微熱流系統、和射頻微機電系統，以及奈米工程應用領域均會在本課程中介紹。
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<br>二、指定用書(Text Books)
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<br>1.Foundations of MEMS, Chang Liu, Pearson Education, Inc. 2006. 
<br>2.http://djao.pme.nthu.edu.tw/nems5100, Fall, 2009.
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<br>三、參考書籍(References)
<br>1."Fundamnetals of Microfabrication", Marc Madou, 2nd edition, CRC press, 2001.
<br>2."微機電系統與微系統設計與製造", 作者: 徐泰然, 翻譯: 朱銘祥, 普林斯頓國際有限公司, 2003.
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<br>四、教學方式(Teaching Method)
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<br>Lectures and research reports.
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<br>五、教學進度(Syllabus)
<br>1.Introduction (Ch1) HW1	(09/18) 饒
<br>2.Scaling Effect	(09/25) 饒
<br>3.Introduction to Microfabrication (Ch2, Video) HW2	(10/02) 李
<br>4.Bulk Micromachining (Ch10) HW3	(10/09) 李
<br>5.Surface Micromachining (Ch11) 	(10/16) 李
<br>6.Polymer MEMS HW4	(10/23) 饒
<br>7.Sensors and Actuators (CH4-9) HW5	(10/30) 李
<br>8.CMOS MEMS and RF MEMS	(11/06) 李
<br>9.Optical MEMS (Ch 15)	(11/13) 饒
<br>10.BioMEMS	(11/20) 饒
<br>期中考                      	(11/27) 
<br>11.Introduction to Nanotechnologies	(12/04) 曾
<br>12.Nano-Electronics	(12/11) 曾
<br>13.Nano-OptoElectronics	(12/18) 曾
<br>14.Nano-Mechanics and Nano-Fluidics	(12/25) 曾
<br>期末報告     	(01/08) 
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<br>六、成績考核(Evaluation)
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<br>作業30% (no late), 
<br>期中考30%, 
<br>期末報告40%(口頭/書面各20%)
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<br>七、可連結之網頁位址
<br>http://djao.pme.nthu.edu.tw/nems5100
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