課程大綱：
<br>一、課程說明(Course Description) 
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<br>本課程旨於介紹奈微米系統科技之基本原理、微尺度及奈米尺度之物理現象、相關奈微系統製造方式，三個重要的微系統應用領域:光學微機電系統、生醫微機電/奈微熱流系統、和射頻微機電系統，以及奈米科技於先進光電、生醫、能源系統上之跨領域應用與未來趨勢。 
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<br>二、指定用書(Text Books) 
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<br>1.奈微米系統工程原理課程講義, 曾繁根、饒達仁、王本誠，Fall, 2010. 
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<br>三、參考書籍(References) 
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<br>1.MEMS and Microsystems Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering, Tai-Ran Hsu, 2nd Edition, 
<br>John Wiley & Sons, Inc., USA 
<br>2.Foundations of MEMS, Chang Liu, Illinois ECE Series, Pearson Prentice Hall, 2006. 
<br>3.Fundamentals of Microfabrication, Marc Madou, CRC Press, 1997. 
<br>4.K. Eric Drexler, “Nanosystems”, John Wiley & Sons, Inc., New York, USA, 1992. 
<br>5.Gregory Timp edited, “Nanotechnology”, Springer-Verlag, New York, USA, 1999. 
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<br>四、教學方式(Teaching Method) 
<br>課程講授,報告，實驗室參觀 
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<br>五、教學進度(Syllabus) 
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<br>課程大綱: 
<br>Part I 微系統科技 (饒達仁教授) 
<br>1.微機電系統科技簡介 (9/15) 
<br>2.尺度分析 (9/29) 
<br>3.光學微機電系統之應用(10/13) 
<br>4.射頻微機電系統之應用(10/6) 
<br>5.生醫微機電系統-微生醫分析檢測系統(10/20) 
<br>6.期中考 (10/27) 
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<br>Part II 奈米系統科技(曾繁根教授、饒達仁教授、王本誠教授) 
<br>1.奈米等級製程及檢測技術 (11/03) 
<br>2.奈米電子系統簡介 (11/10) 
<br>3.奈米光電及磁系統簡介 (11/24) (11/17全校運動會) 
<br>4.奈米能源及機電系統簡介 (12/01) 
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<br>Part III 先進奈米材料科技 (王本誠教授) 
<br>1. 奈米材料科技簡介 (12/08) 
<br>2. 分子自組裝及介面技術之基本原理 (12/15) 
<br>3. 由奈米等級向上建造之新型奈米系統 (12/22) 
<br>4. 奈米生醫系統簡介Bio-Nanotechnology (12/29) 
<br>5. 奈米材料在光電、生醫、能源等先進系統之應用 (01/05) 
<br>6. 期末考 (01/12) 
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<br>六、成績考核(Evaluation) 
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<br>作業30%, 平時成績10%, 期中考30%, 期末考30%. 
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<br>七、可連結之網頁位址 
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