一、課程說明(Course Description)
<br>
<br>目的：完成nMOS元件與簡易太陽能電池
<br>先修課程：建議先修習過微電子工程或相關製程課程
<br>
<br>課程內容：由Metal Gate nMOS電晶體實作之過程中學習積體電路製作技術與程序。
<br>1.Oxidation.
<br>2.Source and Drain Diffusion Region Opening.
<br>3.Source and Drain Diffusion.
<br>4.Gate Oxide Growth.
<br>5.Contact Hole Opening.
<br>6.Metallization.
<br>7.Metal Line Patterning.
<br>8. Process Simulation
<br>
<br> 二、指定用書(Text Books)
<br>
<br>講義－Ｍetal Gate nMOS電晶體實作。
<br>
<br>
<br> 三、參考書籍(References)
<br>
<br>講義及微電子工程教科書
<br>
<br>
<br> 四、教學方式(Teaching Method)
<br>在無塵室實驗
<br>
<br> 五、教學進度(Syllabus)
<br>上課時依具當時授課次數與無塵室情況公布
<br>
<br> 六、成績考核(Evaluation)
<br>
<br>實驗報告，模擬成績及助教評分
<br>
<br> 七、可連結之網頁位址
<br>
<br>
<br>
<br>