ESS4800    Principles of Nano and Micro System Technology 
<br>奈微米系統工程原理 (Fall, 2012)
<br>
<br>課程講授: 國立清華大學 工程與系統科學系 饒達仁、蘇育全、王本誠 教授
<br>
<br>時間: W789, Place: ESS 402
<br>
<br>目標: 本課程旨於介紹奈微米系統科技之基本原理、微尺度及奈米尺度之物理現象、相關奈微系統製造方式，三個
<br>重要的微系統應用領域:光學微機電系統、生醫微機電/奈微熱流系統、和射頻微機電系統，以及奈米科技於先進光
<br>電、生醫、能源系統上之跨領域應用與未來趨勢。
<br>
<br>背景課程: 建議曾修習材料科學導論及電子電路學相關課程
<br>
<br>課程大綱:
<br>Part I 微系統科技 (饒達仁教授)
<br>1. 微機電系統科技簡介 (9/19)
<br>2. 尺度分析 (9/26)
<br>3. 光學微機電系統之應用(10/3) 
<br>4. 射頻微機電系統之應用(10/10) (國慶日，停課一天，與單元三合併上課)
<br>5. 生醫微機電系統-微生醫分析檢測系統(10/17) (授課教師出國，停課一天，擇期補課)
<br>6. 期中考I (10/24)
<br>
<br>Part II 奈米系統科技(蘇育全教授)
<br>1. 奈米等級製程及檢測技術 (10/31)	
<br>2. 奈米電子系統簡介  (11/7)	
<br>3. 奈米光電及磁系統簡介  (11/14)
<br>4. 奈米能源及機電系統簡介  (11/21) (校運會停課一天，擇期補課)
<br>5. 期中考II (11/28)
<br>
<br>Part III 先進奈米材料科技 (王本誠教授)
<br>1. 奈米材料科技簡介  (12/5)
<br>2. 分子自組裝及介面技術之基本原理  (12/12)
<br>3. 由奈米等級向上建造之新型奈米系統  (12/19)
<br>4. 奈米生醫系統簡介Bio-Nanotechnology  (12/26)
<br>5. 奈米材料在光電、生醫、能源等先進系統之應用  (1/2)
<br>6. 期末考 (1/9)                                        
<br>
<br>Textbook:
<br>1. 奈微米系統工程原理課程講義, 曾繁根、饒達仁、王本誠，Fall, 2012.
<br>
<br>References:
<br>1. MEMS and Microsystems Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering, Tai-Ran 
<br>Hsu, 2nd Edition,  John Wiley & Sons, Inc., USA 
<br>2. Fundamentals of Microfabrication, Marc Madou, CRC Press, 1997. 
<br>3. Micromachined Transducers Sourcebook, Gregory T. A. Kovacs, McGraw-Hill, New 
<br>York, 1998.
<br>4. K. Eric Drexler, “Nanosystems”, John Wiley & Sons, Inc., New York, USA, 1992.
<br>5. Gregory Timp edited, “Nanotechnology”, Springer-Verlag, New York, USA, 1999.
<br>
<br>
<br>
<br>