ESS4800 Principles of Nano and Micro Systems Technology 奈微米系統工程原理
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<br>課程講授: 國立清華大學 工程與系統科學系 饒達仁、蘇育全、王本誠 教授
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<br>時間: W789, Place: ESS 402
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<br>目標: 本課程旨於介紹奈微米系統科技之基本原理、微尺度及奈米尺度之物理現象、相關奈微系統
<br>製造方式，三個重要的微系統應用領域:光學微機電系統、生醫微機電/奈微熱流系統、和射頻微機
<br>電系統，以及奈米科技於先進光電、生醫、能源系統上之跨領域應用與未來趨勢。
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<br>背景課程: 建議曾修習材料科學導論及電子電路學相關課程
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<br>課程大綱:
<br>Part I 微系統科技 (饒達仁教授)
<br>1. 微機電系統科技簡介
<br>2. 尺度分析 
<br>3. 光學微機電系統之應用
<br>4. 射頻微機電系統之應用
<br>5. 生醫微機電系統-微生醫分析檢測系統
<br>6. 期中考I
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<br>Part II 奈米系統科技(蘇育全教授)
<br>1. 奈米等級製程及檢測技術 	
<br>2. 奈米電子系統簡介  	
<br>3. 奈米光電及磁系統簡介  
<br>4. 奈米能源及機電系統簡介  
<br>5. 期中考II 
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<br>Part III 先進奈米材料科技 (王本誠教授)
<br>1. 奈米材料科技簡介  
<br>2. 分子自組裝及介面技術之基本原理  
<br>3. 由奈米等級向上建造之新型奈米系統  
<br>4. 奈米生醫系統簡介Bio-Nanotechnology  
<br>5. 奈米材料在光電、生醫、能源等先進系統之應用  
<br>6. 期末考                                         
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<br>Textbook:
<br>1. 奈微米系統工程原理課程講義
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<br>References:
<br>1. MEMS and Microsystems Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering, Tai-
<br>Ran Hsu, 2nd Edition,  John Wiley & Sons, Inc., USA 
<br>2. Fundamentals of Microfabrication, Marc Madou, CRC Press, 1997. 
<br>3. Micromachined Transducers Sourcebook, Gregory T. A. Kovacs, McGraw-Hill, 
<br>New York, 1998.
<br>4. K. Eric Drexler, “Nanosystems”, John Wiley & Sons, Inc., New York, USA, 
<br>1992.
<br>5. Gregory Timp edited, “Nanotechnology”, Springer-Verlag, New York, USA, 
<br>1999.
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