ESS4800 Principles of Nano and Micro Systems Technology
<br>奈微米系統工程原理 (Fall, 2015)
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<br>課程講授：國立清華大學工程與系統科學系  王本誠、王翔郁、蘇育全教授
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<br>時間：W789, Place: ESS 402
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<br>目標：	本課程旨於介紹奈微米系統科技之基本原理、微尺度及奈米尺度之物理現象、相關奈微系統製造方式，三個重要的微系統應用領域:光學微機電系統、生醫微機電/奈微熱流系統、和射頻微機電系統，以及奈米科技於先進光電、生醫、能源系統上之跨領域應用與未來趨勢。
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<br>背景課程：建議曾修習材料科學導論及電子電路學相關課程
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<br>課程大綱：
<br>Part I 先進奈米材料科技 (王本誠教授)
<br>1. 奈米材料科技簡介 (9/16)
<br>2. 分子自組裝及介面技術之基本原理 (9/23)
<br>3. 由奈米等級向上建造之新型奈米系統 (9/30)
<br>4. 奈米生醫系統簡介Bio-Nanotechnology (10/7)
<br>5. 奈米材料在光電、生醫、能源等先進系統之應用 (10/14)
<br>6. 期中考I (10/28)
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<br>Part II 微系統科技 (王翔郁教授)
<br>1. 微機電系統科技簡介 (10/21)
<br>2. 尺度分析 (11/4)
<br>3. 光學微機電系統之應用 (11/11) 
<br>4. 生醫微機電系統-微生醫分析檢測系統 (11/25) 
<br>5. 期中考II (12/2)
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<br>Part III 奈米系統科技 (蘇育全教授)
<br>1. 奈米等級製程及檢測技術 (12/9)	
<br>2. 奈米電子系統簡介 (12/16)	
<br>3. 奈米光電及磁系統簡介 (12/23)
<br>4. 奈米能源及機電系統簡介 (12/30)
<br>5. 期末考 (1/6)
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<br>成績：作業（約4次）20%、期中考（2次各25%）50%、期末考30%
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<br>Textbook:
<br>奈微米系統工程原理課程講義
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<br>References:
<br>1. MEMS and Microsystems Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering, Tai-Ran Hsu, 2nd Edition,  John Wiley & Sons, Inc., USA 
<br>2. Fundamentals of Microfabrication, Marc Madou, CRC Press, 1997. 
<br>3. Gregory Timp edited, "Nanotechnology", Springer-Verlag, New York, USA, 1999.
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