ESS4800 Principles of Nano and Micro Systems Technology
<br>奈微米系統工程原理 (Fall, 2016)
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<br>課程講授：國立清華大學工程與系統科學系  王本誠、蘇育全教授
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<br>時間：W789, Place: ESS 402
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<br>目標：本課程旨於介紹奈微米系統科技之基本原理、奈微尺度之物理現象、
<br>相關奈微系統製造方式，重要的微系統應用領域：微型感測器和生醫微流體系統，
<br>以及奈米科技於先進材料、生醫、光電、能源系統上之跨領域應用與未來趨勢。
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<br>背景課程：建議曾修習材料科學導論及電子電路學相關課程
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<br>課程大綱：
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<br>Part I - 王本誠教授
<br>1. 奈米材料科技簡介 (9/14)
<br>2. 分子自組裝及介面技術之基本原理 (9/21)
<br>3. 由奈米等級向上建造之新型奈米系統 (10/5)
<br>4. 奈米生醫系統簡介Bio-Nanotechnology (10/12)
<br>5. 奈米材料在光電、生醫、能源等先進系統之應用 (10/19)
<br>6. 微機電系統科技簡介 (10/26)
<br>7. 生醫微流體系統 (11/2)
<br>8. 期中考 (11/9)
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<br>Part II - 蘇育全教授
<br>9.  微系統製程 (11/23)
<br>10. 光學與射頻微機電系統之應用 (11/30) 
<br>11. 奈米等級製程及檢測技術 (12/7)	
<br>12. 奈米電子系統簡介 (12/14)	
<br>13. 奈米光電磁系統簡介 (12/21)
<br>14. 奈米能源及機電系統簡介 (12/28)
<br>15.  期末考 (1/4)
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<br>成績：作業（約4次）20%、期中考40%、期末考40%
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<br>Textbook:
<br>奈微米系統工程原理課程講義
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<br>References:
<br>1. MEMS and Microsystems Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering, Tai-
<br>Ran Hsu, 2nd Edition,  John Wiley & Sons, Inc., USA 
<br>2. Fundamentals of Microfabrication, Marc Madou, CRC Press, 1997. 
<br>3. Gregory Timp edited, "Nanotechnology", Springer-Verlag, New York, USA, 
<br>1999.
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