一、課程說明(Course Desc<x>ription)
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<br>本課程計有八個實驗單元（暫訂，若有變動會及時更新）：
<br>1.高介電閘極氧化物薄膜之研究（闕郁倫）,
<br>2.金屬薄膜與其退火後之表面分析（陳力俊）,
<br>3.氧化鋅薄膜與Pt奈米顆粒之製備與應用（彭宗平）,
<br>4.濺鍍Cu薄膜（周麗新）,
<br>5.濺鍍磁性材料薄膜（賴志煌）,
<br>6.夢幻的顯示及照明光源：有機發光二極體（周卓煇）,
<br>7.用射頻濺鍍系統鍍製氧化鋅薄膜及特性量測（李奕賢）,
<br>8.次世代太陽能電池的製備與應用（林皓武）
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<br>各單元實驗內容包括:
<br>(1)材料系統及（或）製程原理解說,
<br>(2)製程及性質量測實驗示範,
<br>(3)實作練習,
<br>(4)薄膜性質量測等。
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<br>以製程技術而言，課程內容包括了原子層化學氣相沉積、電子束沈積、濺鍍、真空熱蒸鍍、射頻
<br>濺鍍、濕式製程、塗佈等七項製程技術及熱退火、封裝技術等後處理技術。
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<br>以薄膜量測技術而言，課程內容包括了四點探針片電阻量測、a-step膜厚量測、X光繞射、SEM
<br>表面觀察、AFM量測、光譜儀（即UV-Vis）量測、橢圓儀、霍爾效應量測、I-V、C-V、光源模
<br>擬器、CIE system等，內容豐富。此外，尚有試片前處理技術等。為探索薄膜工程領域的絕佳
<br>入門實驗課程。
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<br> 二、指定用書(Text Books)
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<br>講義，實驗教材由講師影印發放給同學。
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<br> 三、參考書籍(References)
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<br>教學VCD
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<br> 四、教學方式(Teaching Method)
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<br>薄膜製程技術及薄膜材料種類繁多，其應用領域亦極多樣化，為讓同學能有較多的選擇，課程設
<br>計儘可能涵蓋最多樣的製程技術及相關基礎薄膜量測技術。本課程在教育部儀器設備經費的挹注
<br>及材料系七位教授及八組講師和助教的努力下，共同合力完成，課程內容包括六項製程技術、多
<br>項量測技術及試片處理技術等，內容豐富，為探索薄膜工程領域的絕佳入門實驗課程。
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<br>為讓同學們對各單元實驗有較深入以及實作的學習，同時顧及課程的廣度，課程設計由每位同學
<br>依個人興趣及實驗單元的互補性，選做二個單元的實驗。每一單元實驗為期六到七週，先由講師
<br>或助教講授製程原理及（或）薄膜特性及相關應用，再介紹製程及量測儀器的原理及操作方法，
<br>並實作示範，接著由同學們演練相關技術、進行薄膜製程實作及特性量測等，最後據以書寫實驗
<br>報告。
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<br>每一單元實驗，上課時間由各組講師（或助教）與組上同學們共同協調一合適時間。學校排定之
<br>上課時間僅供參考！
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<br>每一單元實驗，於實作練習時，同學們將進一步分成小組，各小組依據講師給予的製程參數，進
<br>行薄膜製程實驗，每一小組實驗參數不同，實驗結束後，不同小組將共享實驗數據，但每位同學
<br>需自行書寫個人的實驗報告，並於實驗結束兩星期內繳交實驗報告。薄膜製作完成後的量測實
<br>驗，將視實際情況由同學們自行操作設備或由講師助教們協助量測。
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<br> 五、教學進度(Syllabus)
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<br>同學們分組輪作不同薄膜實驗，每一實驗單元為期6-7週。
<br>每位同學將選做二單元的實驗。
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<br>課程時間表：
<br>2/23（五）：課程介紹、實驗室參觀（6:30pm, 台達館B03室）
<br>2/25（日）：選組志願表繳交截止
<br>2/28（三）：分組確認
<br>3/01-3/04（四～日）：各組協商實驗時間
<br>3/09（五）：薄膜製程VCD影片觀賞（6:30pm, 台達館B03室）
<br>3/05-4/20（七週）：上半學期實驗
<br>4/23-6/08（七週）：下半學期實驗
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<br> 六、成績考核(Evaluation)
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<br>各單元實驗平均成績將調整成相同。
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<br>每一實驗單元的評分方式如下：
<br>1. 實驗態度(20%)
<br>2. 實驗操作(30%)
<br>3. 實驗報告(50%)
<br>再以選做的二實驗單元的平均得分做為學期末成績。
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<br>報告遲交，報告成績將以零分計算。
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