一、課程說明(Course Description)

本課程計有八個實驗單元
(此為二年前的實驗單元,本年度實驗單元將視修課人數動態調整實驗單元數及單元內容):
1.高介電閘極氧化物薄膜之研究(闕郁倫),
2.金屬薄膜與其退火後之表面分析(陳力俊),
3.氧化鋅薄膜與Pt奈米顆粒之製備與應用(彭宗平),
4.濺鍍Cu薄膜(周麗新),
5.磁性薄膜的製備與應用(賴志煌),
6.夢幻的顯示及照明光源:有機發光二極體(周卓煇),
7.用射頻濺鍍系統鍍製氧化鋅薄膜及特性量測(李奕賢),
8.次世代太陽能電池的製備與應用(林皓武)


各單元實驗內容包括:
(1)材料系統及(或)製程原理解說,
(2)製程及性質量測實驗示範,
(3)實作練習,
(4)薄膜性質量測等。


以製程技術而言,課程內容包括了原子層化學氣相沉積、電子束沈積、濺鍍、真空熱蒸鍍、射頻
濺鍍、濕式製程、塗佈等七項製程技術及熱退火、封裝技術等後處理技術。


以薄膜量測技術而言,課程內容包括了四點探針片電阻量測、a-step膜厚量測、X光繞射、SEM
表面觀察、AFM量測、光譜儀(即UV-Vis)量測、橢圓儀、霍爾效應量測、I-V、C-V、光源模
擬器、CIE system等,內容豐富。此外,尚有試片前處理技術等。為探索薄膜工程領域的絕佳
入門實驗課程。


二、指定用書(Text Books)

講義,實驗教材由講師影印發放給同學。



三、參考書籍(References)

教學VCD


四、教學方式(Teaching Method)

薄膜製程技術及薄膜材料種類繁多,其應用領域亦極多樣化,為讓同學能有較多的選擇,課程設
計儘可能涵蓋最多樣的製程技術及相關基礎薄膜量測技術。本課程在教育部儀器設備經費的挹注
及材料系七位教授及八組講師和助教的努力下,共同合力完成,課程內容包括六項製程技術、多
項量測技術及試片處理技術等,內容豐富,為探索薄膜工程領域的絕佳入門實驗課程。

為讓同學們對各單元實驗有較深入以及實作的學習,同時顧及課程的廣度,課程設計由每位同學
依個人興趣及實驗單元的互補性,選做二個單元的實驗。每一單元實驗為期六到七週,先由講師
或助教講授製程原理及(或)薄膜特性及相關應用,再介紹製程及量測儀器的原理及操作方法,
並實作示範,接著由同學們演練相關技術、進行薄膜製程實作及特性量測等,最後據以書寫實驗
報告。

每一單元實驗,上課時間由各組講師(或助教)與組上同學們共同協調一合適時間。學校排定之
上課時間僅供參考!

每一單元實驗,於實作練習時,同學們將進一步分成小組,各小組依據講師給予的製程參數,進
行薄膜製程實驗,每一小組實驗參數不同,實驗結束後,不同小組將共享實驗數據,但每位同學
需自行書寫個人的實驗報告,並於實驗結束兩星期內繳交實驗報告。薄膜製作完成後的量測實
驗,將視實際情況由同學們自行操作設備或由講師助教們協助量測。


五、教學進度(Syllabus)

同學們分組輪作不同薄膜實驗,每一實驗單元為期6-7週。
每位同學將選做二單元的實驗。

課程時間表:
2/26(五):課程介紹、實驗室參觀(6:30pm, 台達館B03室)
2/28(日):選組志願表繳交截止
3/03(三):分組確認
3/04-3/07(四~日):各組協商實驗時間
3/12(五):薄膜製程VCD影片觀賞(7:10pm, 台達館B06室)
3/08-4/30(八週):上半學期實驗
5/03-6/18(七週):下半學期實驗


六、成績考核(Evaluation)

各單元實驗平均成績將調整成相同。

每一實驗單元的評分方式如下:
1. 實驗態度(20%)
2. 實驗操作(30%)
3. 實驗報告(50%)
再以選做的二實驗單元的平均得分做為學期末成績。

報告遲交,報告成績將以零分計算。