目標：本課程旨於介紹奈微米系統科技之基本原理、微尺度及奈米尺度之物理現象、相關奈微系統
<br>製造方式，三個重要的微系統應用領域：光學微機電系統、生醫微機電/奈微熱流系統、和射頻微
<br>機電系統，以及奈米科技於先進光電、生醫、能源系統上之跨領域應用與未來趨勢。
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<br>背景課程：建議曾修習工程力學、材料科學導論及電子電路學相關課程
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<br>課程大綱：
<br>Part I - 蘇育全教授
<br>1.	微機電系統科技簡介 (9/15)
<br>Meet  連結 https://meet.google.com/lookup/finbzfzeby
<br>Webex 連結 https://nthu-meeting.webex.com/meet/ycsu
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<br>2.	微系統製程及檢測技術 (9/22)
<br>3.	光學微機電系統之應用 (9/29)
<br>4.	射頻微機電系統之應用 (10/6)
<br>5.	奈米電子系統簡介 (10/13)
<br>6.	奈米光電磁系統簡介 (10/20)
<br>7.	奈米能源及機電系統簡介 (10/27)
<br>8.	期中考 (11/3)
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<br>Part II - 王本誠教授
<br>9.	奈米材料科技簡介 (11/10)
<br>11.	分子自組裝及介面技術之基本原理 (11/24)
<br>12.	由奈米等級向上建造之新型奈米系統 (12/1)
<br>13.	奈米碳材簡介 (12/8)
<br>14.	奈米生醫系統簡介 (12/15)
<br>15.	奈米材料在光電、生醫、能源等先進系統之應用 (12/22)
<br>16.	生醫微流體系統 (12/29)
<br>17.	複合奈米材料設計與應用(1/5)
<br>18.	期末考 (1/12)
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<br>成績：作業(約4次) - 20%、期中考40%、期末考40%
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<br>Textbook:
<br>奈微米系統工程原理課程講義
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