【重要通知】此門課從開學第一周的課程開始，即為 "線上同步遠距教學"，
<br>開學前會以email通知有選課的同學，讓同學們加入線上課程群組。
<br>若為開學後加選的同學，請以email聯繫我(mflai@mx.nthu.edu.tw)，
<br>我再幫加選的同學加入課程群組。
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<br>科目名稱:
<br>微小尺度系統設計與製作技術 (Design and manufacture of miniaturized systems)
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<br>課程進度: 
<br>課程介紹及同步教學設定確認
<br>真空科技原理與簡介
<br>真空系統介紹(I)
<br>真空系統介紹(II) 
<br>鍍膜原理與簡介
<br>鍍膜系統介紹(I)
<br>鍍膜系統介紹(II) 
<br>蝕刻技術
<br>期中口頭報告
<br>元件表面處理與摻雜
<br>微影技術在微小尺度系統製作的應用
<br>高深寬比微小尺度系統的設計與製作
<br>奈米尺度自組裝系統
<br>微尺度元件平坦化技術 
<br>微尺度元件接合技術
<br>微尺度製程之汙染源及潔淨度介紹
<br>元件實例介紹: 微小尺度系統設計與製作
<br>期末口頭報告
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<br>參考資料:
<br>(1)教科書: Gatzen, Hans H., Saile, Volker, Leuthold, Jurg, “Micro and Nano 
<br>Fabrication-Tools and Processes,” Springer (2015).
<br>(2)Related resources on the internet
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<br>成績考核:
<br>First oral report 30%
<br>Second oral report 35%
<br>Attendance and participation (including quizzes) 25%
<br>Homework 10%
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