一、課程說明(Course Description)

本課程為本校大學部微系統科技學程的核心課程，目前由動機系負責。

本課程先對微機電系統作一簡單的介紹，隨後將陸續邀請國內產學研各界，微機電相關領域的專
家進行專題演講。此外，本課程還會安排參觀新竹及鄰近地區的幾個微機電相關的業界，包括設
計、製造、及封測等公司；及研究機構，例如國研院台灣半導體研究中心、國研院台灣儀科中
心、國家同步輻射研究中心、國研院國網中心、工研院等單位。

二、指定用書(Text Books)

無

三、參考書籍(References)

矽晶之火
半導體的故事
矽說台灣

MEMS general concept
(1) Fundamentals of microfabrication by M. Madou, 1997
(2) Micromechanics and MEMS edited by W.S. Trimmer, 1997
(3) Microsystem technology and microrobotics, S. Fatikow and U. Rembold,
1997
(4) MEMS and MOEMS Tech. and Applications, edited by P. Rai-Choudhury, 2001

Microsensors and microactuator
(1) Microactuators by M. Tabib-Azar, 1998
(2) Micromachined transducers by G.T.A. Kovacs, 1998
(3) Microsensor by J.W. Gardner, 1994
(4) Semiconductor sensors by M. Sze, 1994
(5) Microsensor edited by R.S. Muller et. al., 1991
(6) Silicon Sensors, S. Middelhoek and S.A. Audet, 1989
(7) Biosensor: Microelectrochemical devices by M. Lambrechts and W. Sansen,
1992

Design
(1) Microsystem design by S.D. Senturia, 2001

Fabrication technology and material properties
(1) VLSI 製造技術 莊達人 編著, 1994
(2) Thin film process edited by J.L. Vossen and W. Kern, 1978
(3) Semiconductor IC processing technology by W. R. Runyan and K. E. Bean,
1990
(4) The materials science of thin films by M. Ohring, 1991
(5) VLSI technology by S.M. Sze, 1988

四、教學方式(Teaching Method)

課堂講授與校內實驗室及校外單位參觀並行

五、教學進度(Syllabus)

1. 微機電技術簡介-設計、製造、封裝、測試
2. 微機電的應用-通訊、生醫、消費性電子、汽車
3. 微機電產業-Foundry、Design house、Packaging and testing house
4. 參觀 (1) 公司, (2) 國家實驗室, (3) 工研院

六、成績考核(Evaluation)

Homework (25%), Report I (25%), Report II (25%), Final report (25%)

七、本課程之報告，禁止使用 AI 提供之內容

八、可連結之網頁位址