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林本堅 Lin, Burn J.

特聘研究講座/Distinguished Research Chair Professor
國立清華大學半導體研究學院

Research Field

【electrical and electronic engineering】
【微影製程技術】
【光電】
【電磁波】
【photo-lithography】
【electromagnetic wave】
【photonics】
【電子電機工程】
Network Platform
 
  • Scopus Author ID 7403508603
    • Contact Information
    電子郵件 : burnlin@ee.nthu.edu.tw
    網站 : http://ipt.web.nthu.edu.tw/files/13-1239-98532.php?Lang=zh-tw
    Current Position
    國立清華大學半導體研究學院 特聘研究講座/Distinguished Research Chair Professor
    國立清華大學半導體研究學院 院長/Dean
    國立清華大學電機資訊學院光電工程研究所 特聘研究講座/Distinguished Research Chair Professor
    國立清華大學電機資訊學院電機工程學系 特聘研究講座/Distinguished Research Chair Professor
    Education
    1963-09 ~ 1970-09
    美國俄亥俄州立大學電機工程
    *博士
    Teaching
    11310CSR 540300
    半導體微影、RET、Immersion、EUV
    Semiconductor Lithography
    課程大綱
    11210CSR 540300
    半導體微影、RET、Immersion、EUV
    Semiconductor Lithography
    課程大綱
    11110CSR 540300
    半導體微影、RET、Immersion、EUV
    Semiconductor Lithography
    課程大綱
    11110CSR 540100
    半導體製程導讀
    Introduction to Semiconductor Process
    課程大綱
    10920IPT 599700
    半導體奈米微影
    Semiconductor Nanolithography
    課程大綱
    Awards and Honors
    2024
    第六屆總統創新奬
    2023
    SPIE Mozi Prize 墨子奬
    2022
    EE人傑奬
    2022
    中華民國光電學會終生成就獎
    2021
    第15屆潘文淵奬
    Last Updated at：： 2026-05-22 03:23:19